Interférométrie pour métrologie latérale

L'invention concerne un procede qui comprend les etapes consistant a utiliser un systeme d'interferometrie a balayage, generer une sequence d'images d'interferometrie dephasees au niveau de differentes positions de balayage d'un objet comprenant une surface enterree, identifier une position de balayage correspondant a une position de meilleure focalisation pour la surface enterree en fonction de la sequence d'images d'interferometrie dephasees de l'objet, et generer une image finale en fonction des images d'interferometrie dephasees et de la position de balayage, les franges interferometriques dans l'image finale etant reduites par rapport aux franges interferometriques dans les images d'interferometrie dephasees.