레이저 노광 장치

본 발명의 실시 형태는 기판을 지지하는 스테이지; 패턴이 형성된 마스크가 고정 장착되며, 상기 스테이지에 실장된 기판의 상면에 이격 대향되어 위치하며, 기판과의 이격 간격이 미리 설정된 간격 이하를 가지는 마스크 홀더; UV 레이저광을 라인빔 형태로 조사하는 UV 레이저 조사기; 및 상기 UV 레이저 조사기를 상기 라인빔의 길이 방향에 수직된 방향으로 스캔하여 상기 마스크의 전체 영역의 노광을 통해 상기 기판에 패턴을 형성하는 제어부;를 포함할 수 있다.