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Si(111)表面に生成されたArイオン照射欠陥のサイズとその経時変化の基板温度依存性
Si(111)表面に生成されたArイオン照射欠陥のサイズとその経時変化の基板温度依存性
2000
内ケ崎誠
yamawaki takuya
simada kazuyosi
isimaru tetuya
watanabe takanobu
oodomari gan
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