圧電素子、インクジェットヘッド、及びこれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置

【課題】 Ｓｉ基板のような安価な基板１１を用いることにより、低コストで、しかも耐電圧特性が優れた高信頼性の圧電素子が得られるようにする。 【解決手段】 基板１１上に、チタン、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、銅、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム及びこれらの酸化物の群から選ばれた少なくとも１種の添加物が添加された貴金属からなる第１の電極層１４を設け、この第１の電極層１４上に、（１００）面又は（００１）面に優先配向した立方晶系又は正方晶系のペロブスカイト型酸化物からなる配向制御層１５を設ける。そして、この配向制御層１５上に、（１００）面に優先配向した正方晶系のペロブスカイト型酸化物からなりかつ厚み方向と垂直な方向に作用している残留応力が０ないし圧縮応力である圧電体層１６を設ける。 【選択図】 図１