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減圧沸騰噴霧を用いたCDV成膜のための新気化供給法の構築 : 第1報 蒸気濃度分布の空間的な均一性
減圧沸騰噴霧を用いたCDV成膜のための新気化供給法の構築 : 第1報 蒸気濃度分布の空間的な均一性
2002
kazuya miyosi
yuuiti yagawa
zirou tida
moto fuzimoto
Keywords:
Radiochemistry
Evaporation
Chemistry
Materials science
Chemical engineering
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