Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

Cet article decrit les procedures d’analyse utilisees en spectrometrie de masse d’ions secondaires et les performances que l’on peut en attendre, suivant la nature du spectrometre (deflection magnetique ou temps de vol) et de la source d’ions primaires. La logique d’expose va du plus simple au plus complique : acquisition des spectres de masse d’ions secondaires pour une identification qualitative, possibilites d’analyse elementaire quantitative, analyse de l’extreme surface, profilage analytique en profondeur, applications des analyses isotopiques, description des phases et composes presents, developpement de l’imagerie et du traitement 3D. Des exemples, souvent tires d’applications industrielles, illustrent le texte.