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静圧気体軸受のアクティブ制振制御に関する研究:(第1報:給気圧制御による軸受特性向上の可能性の検討)
静圧気体軸受のアクティブ制振制御に関する研究:(第1報:給気圧制御による軸受特性向上の可能性の検討)
2004
tomoko hirayama
kiiti kitagawa
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