Ultraviolet light cut filter

Ein Abschwachungsfilter zur definierten Abschwachung der Lichtintensitat von transmittiertem kurzwelligem Ultraviolettlicht, insbesondere fur Wellenlangen von weniger als 200 nm, gemas einer vorgebbaren raumlichen Verteilung der Lichtdurchlassigkeit hat ein beispielsweise aus kristallinem Calciumfluorid bestehendes Substrat, bei dem auf mindestens einer Oberflache eine Filterschicht mit einem in vorgegebenen Wellenbereich absorbierenden, dielektrischen Material aufgebracht ist. Die Filterschicht besteht fur Arbeitswellenlangen um 193 nm im wesentlichen aus Tantalpentoxid. Filter dieser Art sind kostengunstig mit hoher Gutausbeute herstellbar, zeichnet sich durch hohe Laserbestandigkeit aus und konnen mit einfach aufgebauten Antireflexbeschichtungen wirksam entspiegelt werden.