Simulationsgestützte Optimierung von Fertigungsprozessen in der Halbleiterindustrie

Der Beitrag beschreibt die Entwicklung und Umsetzung eines simulationsgestutzten Optimierungssystems fur den Backendbereich eines Halbleiterherstellers. Typisch fur eine Halbleiterfertigung ist ein breites Produktspektrum mit Produkten aus unterschiedlichen Produktlebenszyklen. Daraus folgen unterschiedliche Zielanforderungen fur einzelne Prozessschritte bzw. Produkte die daruber hinaus durch Marktschwankungen einer starken zeitlichen Dynamik ausgesetzt sind. Da insbesondere im Backend-Bereich ein Hochstmas an (Ablauf-) Flexibilitat gefordert ist, ist ein simulationsgestutztes Scheduling-System gegenuber einer auf starren Regeln basierenden Steuerung im Vorteil. Im Ergebnis des Projekts entstand eine Software, die in der Fertigung im 7 ´ 24-Regime eingesetzt wurde.