露光装置、露光システム、及びデバイス製造方法

【課題】 透過性ガスの供給に不具合が生じても露光装置に設けられる光学系等の劣化を防止することができる露光装置及び露光システム等を提供する。 【解決手段】 窒素ガス供給回収装置２は、複数設けられた露光装置１の各々に窒素ガスを供給する。露光装置１の各々には窒素ガスタンク７が設けられており、停電等によって窒素ガス供給回収装置２から露光装置１への窒素ガスの供給が停止した場合には、窒素ガスタンク７から露光装置１の各々へ窒素ガスを供給する。 【選択図】 図１