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高周波マグネトロンスパッタリング法によるZr-Al-N薄膜の作製と評価
高周波マグネトロンスパッタリング法によるZr-Al-N薄膜の作製と評価
2002
suu matunaga
masaaki yositake
tosinori nosaka
akio okamoto
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