대전 처리에 의한 기판 척킹 방법 및 시스템

본 발명의 목적은 좀 더 간소화된 척킹 방법 및 척킹 시스템을 제안하되, 안정되게 기판을 척킹할 수 있고, 쉽게 디척될 수 있는 새로운 척킹 방법 및 척킹 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 기판과 척 플레이트의 도체판을 서로 반대 전하로 대전시켜 서로 밀착되는 계면에서 강한 정전인력이 미쳐 강력한 척킹이 일어나게 하였다. 즉, 본 발명자들은, 기판과 척을 밀착시켜도 그 계면을 확대하여 보면, 계면은 플랫하지 않고 불규칙한 요철 면을 이루기 때문에 완전히 서로 맞물리는 부분과 서로 들 뜬 상태로 있는 부분을 갖게 되며, 밀착되는 부분에서의 정전 인력은 매우 강하여 강력한 척킹이 이루어질 수 있음을 인식하여 그에 따라 기판과 도체 판을 대전시켜 서로 밀착시킴으로써 매우 강력한 척킹이 일어나게 하였다. 기판과 도체 판이 밀착된 계면에서의 거리는 매우 작아, 거리제곱에 반비례하는 쿨롱의 힘이 작용하기 때문이다.