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ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
2009
최주윤
박경
안치홍
이명수
한창희
조병철
김형섭
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