Etude des couplages entre transport, chimie et transfert d'énergie dans les plasmas de décharge

Les problemes de reactivite dans les plasmas froids sont au centre du developpement d'un grand nombre de procedes et de dispositifs utilisant des decharges electriques. Nous pouvons citer par exemple les procedes de depot chimique assiste par plasma (PACVD), les procedes de gravure, les procedes de traitement de surface, les procedes de traitement d'effluents gazeux, la combustion assistee par plasma, le developpement de laser a gaz et de nouvelles sources d'eclairage et enfin l'etude de la phase de rentree de navettes spatiales dans l'atmosphere. Ces exemples correspondent a des conditions de decharge tres differentes : pressions allant du mtorr a la pression atmospherique, technique de couplage de type capacitive, inductive ou micro-onde... mais ont comme point commun d'utiliser des milieux faiblement ionises et hors equilibre thermochimique : les plasmas de decharge. Dans cet article, nous nous interessons tout particulierement a la modelisation numerique des plasmas de decharge reactifs. Nous presentons les differentes approches et hypotheses simplificatrices pouvant etre adoptees lorsque l'on s'interesse a la description de la plupart des plasmas reactifs de laboratoire, a l'exception des plasmas magnetises qui ne seront pas abordes ici.