Appareil et procédés de réparation de dépôts

L'invention concerne un appareil comportant des fonctions d'examen integre, d'evacuation de materiaux et de depot de materiaux. L'appareil execute les operations d'examen, d'evacuation de materiaux et de depot de materiaux le long du meme axe optique. L'appareil comporte, en partie, une camera, deux lentilles, et au moins un laser. Une premiere lentille sert a focaliser la camera le long de l'axe optique sur une structure formee sur le substrat cible soumis al'examen. La premiere lentille sert egalement a focaliser le faisceau laser sur la structure afin d'evacuer un materiau qui y est present si la structure examinee est identifiee comme necessitant une evacuation de materiaux. La seconde lentille sert a focaliser le faisceau laser sur un ruban pour transferer un compose rheologique d'une cavite formee dans le ruban a la structure si la structure examinee est identifiee comme necessitant un depot de materiau.