RESISTIVIDAD ELÉCTRICA DE PELÍCULAS DELGADAS DE ORO OBTENIDAS POR IÓN-PLATING

Es sabido que la resistividad electrica de las peliculas delgadas es mayor que la del material en volumen aun para espesores para los cuales el efecto Fuchs-Sondheimer es despreciable. En este caso, la mayor contribucion a la resistividad se debe a impurezas y defectos cristalinos. Por eso es interesante hacer mediciones electricas en peliculas en que se pueda establecer la variacion de la resistividad con la concentracion de defectos, en especial bordes de grano. Esto puede lograrse comparando peliculas depositadas en vacio y por ion-plating porque esta ultima produce peliculas con tamano de grano significativamente menor que las evaporadas en vacio. En este trabajo se presentan mediciones de la resistividad de peliculas continuas de oro obtenidas por ambas tecnicas, antes y despues de tratamientos tecnicos. El tamano de grano de las peliculas fue observado por microscopia electronica. Se discuten los resultados en funcion de la contribucion a la resistividad del scattering en los bordes de grano.