Vorrichtung zum Ausrichten eines Substrates und einer Maske

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten eines Substrats (4) und einer Maske (8) zueinander. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum prazisen Ausrichten eines Substrats (4) und einer Maske (8) zueinander anzugeben, so dass die Ausrichtung auch in einer Vakuumumgebung vorgenommen werden kann. Die erfindungsgemase Vorrichtung umfasst einen Substrattrager (2) zur Aufnahme des Substrats (4) in einer Substrataufnahmeebene, ein Ausrichtungsmittel zur Verschiebung des Substrattragers (2) in alle Richtungen des dreidimensionalen Raumes sowie zum Drehen des Substrattragers (2) um die Achse senkrecht zur Substrataufnahmeebene und einen Maskentrager (6), wobei der Maskentrager (6) die Form einer hohlen Halbkugel zur Aufnahme der Maske (8) auf der Grundflache (7) der hohlen Halbkugel annimmt, wobei der Maskentrager (6) in einer Ausgangsposition mit der Hemisphare der hohlen Halbkugel auf drei Stutzelementen (5) aufliegt und der Maskentrager (6) um den Mittelpunkt der Grundflache (7) in alle Richtungen drehbar gelagert ist, und wobei der Substrattrager (2) innerhalb der hohlen Halbkugel des Maskentragers (6) angeordnet ist, so dass der Substrattrager (2) bei einer Verschiebung des Substrattragers (2) in vertikaler Richtung mit der Grundflache (7) des Maskentragers (6) oder mit einer in der Grundflache (7) des Maskentragers (6) angeordneten Maske (8) in Kontakt bringbar ist, der Maskentrager (6) anhebbar ist und sich dabei parallel zum Substrattrager (2) ausrichtet.