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Depôt en phase vapeur de benzotriazole pour proteger des interconnexions en cuivre
Depôt en phase vapeur de benzotriazole pour proteger des interconnexions en cuivre
2004
Changfeng Xia
Arunthathi Sivasothy
Ricky A. Jackson
Asad M. Haider
Keywords:
Benzotriazole
Inorganic chemistry
Chemistry
Depot
Nuclear chemistry
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