銅配線を保護するためのベンゾトリアゾール（ｂｔａ）の蒸着

【課題】集積回路構造体の配線をベンゾトリアゾールの蒸着を用いて保護する方法を提供する。 【解決手段】配線を有する集積回路構造体を形成し、そして前記配線の上に気化したベンゾトリアゾールを堆積する 【選択図】図１