光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置

光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，该装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动支链连接；每个运动支链均由第一柔性万向铰、驱动器和第二柔性万向铰组成，驱动器位于第一柔性万向铰的下面，第二柔性万向铰位于驱动器下面，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器的上电极板和下电极板分别固定在镜框和镜筒上，且三对双电容传感器周向间隔120°均匀分布，本发明基于3-TPT机构，实现光学元件的Z、tip、tilt三自由度精密微动调整。