Beschichtungsvorrichtung mit einer hipims-leistungsquelle

Eine Beschichtungsvorrichtung mit einer Vakuumkammer, mehreren darin angeordneten Kathoden sowie eine HIPIMS-Leistungsquelle, zeichnet sich dadurch aus, dass zusatzlich zu mindestens einer Beschichtungskathode, die mit der HIPIMS-Leistungsquelle betreibbar ist, mehrere flachenmasig im Vergleich zu der Beschichtungskathode kleinere Atzkathoden vorgesehen sind, die in einer vorgegebenen oder vorgebbaren Reihenfolge an der HIPIMS-Leistungsquelle anschliesbar sind.