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SF_6ダウンストリームプラズマを利用した数値制御局所ドライエッチング(NC-LDE)の加工特性
SF_6ダウンストリームプラズマを利用した数値制御局所ドライエッチング(NC-LDE)の加工特性
2001
mitihiko yanagisawa
tyuugi okutani
sei tanaka
kazuyuki turuoka
sinya iida
yasuhiro horiike
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