Contribution à la conception et la réalisation de microsystèmes électrostatiques

Les microsystemes electrostatiques se sont developpes depuis une vingtaine d'annee et ont constitue un evenement marquant du developpement technologique. La presentation abordera les travaux effectues en termes de modelisation du micro usinage de volume et en termes de developpement technologique relatif au micro usinage de surface. Elle s'appuiera egalement sur des exemples de microsystemes opto electro mecaniques a vocation applicatives tant dans le domaine des telecommunications que des applications militaires. Les prospectives de recherches aborderont les nouveaux developpements relatifs a l'introduction des materiaux polymeres dans les technologies silicium tout en restant dans le cadre des applications a l'optique.