Verfahren zur detektion des erreichens einer vorgebbaren tiefe der targetkörpererosion sowie targetkörper hierfür

Um an einem Targetkorper (1), der in einem Kathodenzerstaubungsprozess zerstaubt wird, anzuzeigen, wenn die Erosion eine bestimmte Tiefe (D) erreicht hat, wird am Targetkorper eine durch primar zu zerstaubendes Material (M1) und Indikationsmaterial (M2) gebildete Unstetigkeitsstelle vorgesehen. Als Messignal wird mit dem Messwandler (11) eine Grosse (s) gemessen, die sich durch die Prozessatmosphare (P) oder elektrische Speisungen ausbreitet.