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Methode zur herstellung einer siliziumhalbleiterscheibe und einer soi-scheibe soiwe soi-scheibe
Methode zur herstellung einer siliziumhalbleiterscheibe und einer soi-scheibe soiwe soi-scheibe
2001
Takao C
o Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. Abe
Tokio Takei
Keiichi Okabe
Hajime Miyajima
Keywords:
Condensed matter physics
Materials science
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