氧压对SrTiO 3 和SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 薄膜晶格参数的影响及激光感生热电电压效应

采用脉冲激光沉积技术制备了SrTiO 3 和SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 薄膜.X射线衍射分析表明在LaAlO 3 (100)单晶平衬底上生长的SrTiO 3 及SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 薄膜是沿［001］取向的近外延生长.随着氧压在一定范围内逐渐增大，SrTiO 3 薄膜的晶格参数减小，而SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 薄膜的晶格参数先减小后增大.同时摸索出制备具有二维电子气超晶格(SrTiO 3 /SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 ) L 的最佳氧压为1.0×10 -2 Pa.另外在LaAlO 3 (100)倾斜衬底上制备的SrNb 0.2 Ti 0.8 O 3 薄膜中观察到激光感生热电电压效应.