Elektrooptisches bauelement mit strom- und wellenleitung durch selektive oxidation

Die Erfindung bezieht sich u. a. auf ein Verfahren zum Herstellen eines elektrooptischen Bauelements (10, 200), das zur Emission elektromagnetischer Strahlung (120) geeignet ist, wobei bei dem Verfahren eine erste Zwischenschicht (60) auf einem Trager aufgebracht wird, auf der ersten Zwischenschicht eine zweite Zwischenschicht (70) aufgebracht wird, und nach dem Aufbringen der zweiten Zwischenschicht die vergrabene erste Zwischenschicht lokal modifiziert wird, wobei durch die lokale Modifizierung der vergrabenen ersten Zwischenschicht in lateraler Richtung ein Brechzahlsprung erzeugt wird, der eine laterale Wellenfuhrung der elektromagnetischen Strahlung (120) im unmodifizierten Bereich der ersten Zwischenschicht bewirkt.