“РЕЗОНАНСНЫЙ” МИКРОВОЛНОВЫЙ ИСТОЧНИК ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМЫ

Приводится схема микроволнового коаксиального газоразрядного источника плазмы. Обсуждается возможность реализации условий, в которых микроволновая энергия с высокой эффективностью трансформируется локально – в области “плазменного резонанса” – в энергию ускоренных (“надтепловых”) электронов и в формирование горячей максвелловской части распределения электронов по энергии. Представлены результаты экспериментального исследования коаксиального микроволнового плазмотрона: данные измерений плазменной концентрации с помощью микроволнового интерферометра и ленгмюровских зондов, а также зондовых измерений плазменного потенциала и температуры электронов. Приведены данные скоростного фотографирования с помощью фотоэлектронного преобразователя и регистрации излучения плазмы коллимированным фотоэлектронным умножителем. Результаты эксперимента позволяют утверждать, что в исследованной конструкции плазмотрона при относительно низких давлениях рабочего газа реализуются условия, в которых наличие “резонансной” области в неоднородной плазме и сильно нелинейных процессов взаимодействия с ней микроволнового излучения играют определяющую роль в формировании параметров ионизованной газовой среды в объеме камеры реактора.