Support de plaquettes destine a la croissance de plaquettes
2005
Un support de plaquettes (224) destine a la croissance de plaquettes comprend une plaque (225) possedant une premiere surface (226) et une deuxieme surface (228), une pluralite d'ouvertures (230) qui s'etendent entre la premiere surface (26) et la deuxieme surface (228) de la plaque (225), ainsi qu'un element poreux (236) dispose dans chacune des ouvertures (230), chaque element poreux (236) etant concu pour servir de support a une ou a plusieurs plaquettes. Le support de plaquettes (224) comporte aussi un trou borgne central (244) entre la deuxieme surface (228) et la premiere surface (226) de la plaque (225), et une pluralite de tiges (242) dirigees vers l'exterieur depuis le trou borgne central (244). Chaque tige (242) a une premiere extremite qui communique avec le trou borgne central (244), et une deuxieme extremite qui communique avec l'un des elements poreux (236), de maniere a assurer la communication fluidique entre le trou borgne central et l'un des elements poreux. L'aspiration est effectuee a une surface de chaque element poreux (236) par le tirage du vide via le trou borgne central (244) et les tiges (242).
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