永久レジスト用感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及び半導体素子

【課題】水銀灯を光源とする全波長露光だけでなく波長３６５や４０５ｎｍの光を含むレーザに対しても、高い感度及び解像度で良好な開口形状のレジストパターンを形成することが可能であり、ハロゲンフリー化に対応可能なアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 感光層が、（Ａ）カルボキシル基を有する樹脂、（Ｂ）ハロゲンを有しないヘキサアリールビイミダゾールを含む光重合開始剤、（Ｃ）増感色素、（Ｄ）アクリル基又はメタクリル基を有する光重合性モノマー、及び（Ｅ）熱硬化性樹脂、を含有し、感光層の膜厚方向における吸光度が、３６５ｎｍで０．３以上１．７以下、４０５ｎｍで０．５以上１．５以下、４５０ｎｍで０．０５以下である、永久レジスト用感光性エレメント。 【選択図】なし