永久レジスト用感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、プリント配線板及び半導体素子
2006
【課題】水銀灯を光源とする全波長露光だけでなく波長365や405nmの光を含むレーザに対しても、高い感度及び解像度で良好な開口形状のレジストパターンを形成することが可能であり、ハロゲンフリー化に対応可能なアルカリ現像型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 感光層が、(A)カルボキシル基を有する樹脂、(B)ハロゲンを有しないヘキサアリールビイミダゾールを含む光重合開始剤、(C)増感色素、(D)アクリル基又はメタクリル基を有する光重合性モノマー、及び(E)熱硬化性樹脂、を含有し、感光層の膜厚方向における吸光度が、365nmで0.3以上1.7以下、405nmで0.5以上1.5以下、450nmで0.05以下である、永久レジスト用感光性エレメント。 【選択図】なし
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI