真空チャック、真空吸着装置、吸着方法、および真空チャックの水分保持率管理方法

【課題】 真空チャックの研削工程後、洗浄で除去できなかった研削屑が水と結合してできたスラリーが真空チャックを構成する吸着部の気孔に浸入して乾燥すると、研削屑が気孔内部で固着して、真空チャックの通気抵抗が高くなっていた。 【解決手段】 セラミックスの多孔質体からなり、被吸着体を吸着し、保持するための吸着面を備えた吸着部と、該吸着部を支持する支持部とを備えた真空チャックであって、前記多孔質体の少なくとも一部において、下記式（１）で規定される水分保持率（Ｒ）が９０％以上である真空チャックとする。 Ｒ＝｛（Ｗ ２ −Ｗ 1 ）／（Ｗ ３ −Ｗ 1 ）｝×１００ （１） 但し Ｒ：水分保持率（％） Ｗ 1 ：前記多孔質体の乾燥質量（ｇ） Ｗ 2 ：常温常湿下で放置した前記多孔質体の質量（ｇ） Ｗ 3 ：前記多孔質体の飽水質量（ｇ） 【選択図】 図１