ガラス基板研磨ヘッド及びこれを用いた研磨装置、ガラス基板研磨方法、ガラス基板

【課題】研磨作業に伴う部品の消耗を少なくする。 【解決手段】ガラス基板研磨ヘッド１を、研磨装置との接続部をなすヘッド基部２と、ヘッド基部２の下方に設けられて下端でガラス基板Ｂの上面を受けるサブキャリア３と、ヘッド基部２とサブキャリア３との間に介装されてサブキャリア３を上下方向への変位を可能にして支持する支持機構４とを有する構成とする。サブキャリア３の下端側には、サブキャリア３に受けられるガラス基板Ｂの外周縁を受けるテンプレート５を設け、サブキャリア３とテンプレート５との間には、テンプレート５をその上下方向の位置を調整可能にして支持する上下位置調整機構６を介装する。 【選択図】 図１