MEMS pressure sensor having a plurality of membrane electrode

In einer Ausfuhrungsform weist ein MEMS-Sensor eine erste feste Elektrode in einer ersten Schicht, eine Kavitat, die uber der ersten festen Elektrode vorgesehen ist, eine Membran, die sich uber die Kavitat erstreckt, eine erste bewegliche Elektrode, die in der Membran ausgebildet und im Wesentlichen direkt uber der ersten festen Elektrode angeordnet ist, und eine zweite bewegliche Elektrode auf, die zumindest teilweise innerhalb der Membran ausgebildet und zumindest teilweise uber der Kavitat angeordnet ist.