反射防止膜、その形成方法、光学素子、交換レンズ及び撮像装置

【課題】1.45〜1.60の屈折率を有する光学ガラス基材上に設けられ、広い波長範囲で、かつ広い入射角度の光に対して優れた反射防止性を有し、かつ優れたヤケ防止性を有する反射防止膜、その形成方法、光学素子、交換レンズ及び撮像装置を提供する。 【解決手段】1.45〜1.60の屈折率を有する光学ガラス基材上に、85〜205 nmの光学膜厚を有し、アルミナを主成分とする緻密膜を形成し、その上に1.93〜2.77の屈折率を有する緻密膜及び1.33〜1.50の屈折率を有する緻密膜をそれぞれ所定の光学膜厚となるように交互に二層ずつ形成し、その上に1.05〜1.15の屈折率及び100〜230 nmの光学膜厚を有し、メソポーラスシリカナノ粒子の集合体により形成されたメソポーラスシリカ多孔質膜を形成してなる反射防止膜。 【選択図】図１