Etude de la redistribution des dopants et des éléments d'alliages lors de la formation des siliciures

L'objectif de cette etude est de caracteriser la redistribution d'elements d'alliages et de dopants au cours des premiers stades de formation des siliciures de Ni. Pour cela, nous avons etudie la nature, la sequence et la cinetique des phases formees, dans un premier temps pour les systemes binaires Pd/Si, Pt/Si et Ni/Si, puis pour les systemes ternaires (Ni,Pt)/Si et Ni/(Si, As) presentant un interet technologique pour la nanoelectronique. Ainsi, nous avons couple des techniques de caracterisation originales (calorimetrie differentielle a balayage sur films minces, sonde atomique tomographique, diffraction des rayons X in situ) pour mesurer la redistribution du Pt dans les phases formees et leurs cinetiques de croissance. Nous avons pu developper un modele pour decrire les premiers stades de croissance de ces siliciures allies et degager les mecanismes mis en jeu ainsi que les facteurs limitant la redistribution des elements d'alliage et des dopants.