Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zu seinem Betrieb

Laser-Scanning-Mikroskop und Verfahren zu seinem Betrieb, wobei uber eine Strahlvereinigung mindestens zwei voneinander unabhangig angesteuerte, mindestens in einer Richtung bewegliche erste und zweite Lichtverteilungen eine Probe beleuchten und das Licht von der Probe kommend detektiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass die von den Lichtverteilungen auf der Probe erzeugten Scanfelder zueinander in Uberdeckung gebracht werden, indem - mit der einen Lichtverteilung ein Referenzmuster auf der Probe erzeugt wird, das mittels der zweiten Lichtverteilung erfasst und zur Erzeugung der Uberdeckung herangezogen wird (Korrekturwerte ermittelt werden) und/oder ein in der Probenebene oder einer Zwischenbildebene angeordnetes Referenzmuster von beiden Scanfeldern erfasst und zur Erzeugung der Uberdeckung herangezogen wird (Korrekturwerte ermittelt werden) und/oder Strukturmerkmale der Probe als Referenzmuster von beiden Scanfeldern erfasst und zur Erzeugung der Uberdeckung herangezogen werden, indem Korrekturwerte ermittelt werden.