sol-gel法制备的SnO2-TiO2厚膜及其气敏特性研究

采用sol-gel法,以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备了不同掺杂量的SnO2-TiO2纳米粉末,样品经300,500,700和900℃退火后,利用浸渍提拉法,在Al2O3陶瓷管表面制备了SnO2-TiO2厚膜.通过XRD和SEM 对制备的纳米粉末的物相、形貌进行表征,静态配气法对其气敏性能进行测试,并结合分子轨道理论探讨了气敏机理.实验结果表明,经700 ℃退火的4%（原子分数）掺杂的SnO2-TiO2气敏元件,对乙醇气体具有很好的选择性,在工作温度为63 ℃时,对乙醇气体的灵敏度可达1903,响应G恢复时间分别为1和3s,所制备的气敏元件有望用于乙醇气体的实用化检测.