Procédé de rodage de composants optiques de chambre uv pour éviter la dégradation

2012 
L'invention concerne des procedes de depot d'une couche de rodage a base de carbone sur des surfaces exposees de composants optiques dans une chambre de traitement par UV. Dans un mode de realisation, la methode comprend l'ecoulement d'un precurseur contenant du carbone d'une maniere radiale et vers l'interieur sur les surfaces exposees de composants optiques dans la chambre de traitement thermique a partir d'une circonference des composants optiques, l'exposition du precurseur contenant du carbone a un rayonnement thermique emis par une source de chauffage pour former une couche de rodage a base de carbone sur les surfaces exposees des composants optiques, l'exposition de la couche de rodage a base de carbone a de l'ozone, l'ozone etant introduite dans la chambre de traitement par ecoulement d'ozone de maniere radiale et vers l'interieur sur les surfaces exposees des composants optiques a partir de la circonference des composants optiques, le chauffage des composants optiques a une temperature d'environ 400°C ou plus pendant l'ecoulement de l'ozone afin d'eliminer la couche de rodage a base de carbone des surfaces exposees des composants optiques.
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