薬液、薬液の製造方法、基板の処理方法

本発明は、遷移金属含有物に対する優れたエッチング性能を有し、優れた欠陥抑制性能を有する薬液、上記薬液の製造方法、及び、基板の処理方法を提供する。　本発明の薬液は、過ヨウ素酸及びその塩からなる群から選択される１種以上の過ヨウ素酸類と、Ｔｉ及びＺｒからなる群から選択される１種以上の第１金属成分と、水と、を含む薬液であって、薬液が１種の第１金属成分を含む場合、１種の第１金属成分の含有量が、過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ～１００質量ｐｐｍであり、薬液が２種の第１金属成分を含む場合、２種の第１金属成分のそれぞれの含有量が、過ヨウ素酸類全質量に対して、１００質量ｐｐｍ以下であり、２種の第１金属成分の内の少なくとも一方の含有量が、上記過ヨウ素酸類全質量に対して、１質量ｐｐｔ以上である。