Revisión de diferentes técnicas de metrología óptica

espanolEste trabajo nace de un proyecto europeo cuyo objetivo es la mejora en la calidad de la medida de la planitud de superficies, como por ejemplo obleas, pantallas de cristal liquido, etc. Para ello, se ha escogido una de las tecnicas de la metrologia optica actual, la deflectometria optica. Existen diferentes tecnicas opticas destinadas a la medida de la forma de superficies, como por ejemplo, el tiempo de vuelo de luz, la microscopia confocal, la microscopia basada en fuerzas atomicas, la interferometria, ? Mediante estas tecnicas se consigue determinar las posibles irregularidades en la superficie muestreada respecto a una superficie patron. Cada una de ellas presenta caracteristicas diferentes en cuanto a resolucion, rango dinamico, sensibilidad, dimensiones de la muestra. En este trabajo se presenta una revision de estas tecnicas y de sus caracteristicas. EnglishThis work starts from a european project with the goal of improving the quality of the measurement of the planar surfaces, like for instance wafers, liquid crystal screens, etc. For that purpose we selected one of the actual metrology techniques: optical deflectometry. There exist different techniques devoted to the measurement of the shape of surfaces, like for instance light in flight, confocal microscopy, atomic force microscopy, interferometry… By means of these techniques it is possible to calibrate possible irregularities in the sample surface, with respect to a standard surface. Each one of these techniques presents different characteristics in terms of resolution, dynamic range, sensitivity or dimensions of the sample. In this work we present a revision of these techniques and their characteristics.