МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП КАК СРЕДСТВО ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ НАНОСТРУКТУР

Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с отклонением от прямолинейности не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Рассмотрены метрологические аспекты применения микроскопа для измерения линейных размеров наноструктур. Приведены результаты измерений основных параметров топологии интегральных микросхем.