パターン検証方法、そのプログラム、半導体装置の製造方法

【課題】ＴＡＴを短縮可能なパターン検証方法を提供する。 【解決手段】半導体集積回路パターンの検証方法において、規定パターン寸法以下のパターンを抽出する工程と、前記抽出されたパターンからリソグラフィシミュレーションの対象となるパターンエッジを抽出する工程と、前記抽出されたパターンエッジに対してシミュレーションを実施して、パターンの検証を行なう工程とを具備することを特徴とする。 【選択図】 図１