АВТОМАТИТИЗАЦИЯ ИОННО-ПУЧКОВОЙ УСТАНОВКИ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ РАЗЛИЧНЫХ ПРОГРАММ ОБЛУЧЕНИЯ

Описана система автоматизации установки “Большой масс-монохроматор МИФИ” с дуоплазматроном в качестве ионного источника и выносным четвертьсферическим энергоанализатором отраженных и выбитых из мишени ионов. Создание системы компьютерного управления позволило осуществить ионно-пучковые эксперименты в автоматическом программируемом режиме, в том числе проводить одновременное определение элементного состава и толщины поверхностных пленок в процессе плазменного/ионного воздействия.