Appareil a faisceau d'electrons et procede utilisant cet appareil a faisceau d'electrons pour la fabrication de dispositifs

La presente invention concerne un appareil a faisceau d'electrons dans lequel un faisceau d'electrons emis par un canon a electrons a cathode et anode est focalise et envoye sur un echantillon, les electrons secondaires relâches par l'echantillon etant diriges dans un detecteur. L'appareil comprend egalement des organes permettant une production optimale du faisceau d'electrons emis sur l'echantillon par la canon a electrons. Ces organes d'optimisation peuvent etre des deflecteurs a deux niveaux disposes au voisinage du canon a electrons, qui devie et dirige le faisceau d'electrons dans un sens specifique de facon a etre dans l'alignement de l'axe optique de l'appareil a faisceau d'electrons. Le faisceau d'electrons emis dans le sens specifique forme un angle determine par rapport a l'axe optique du fait que, parmi toues les orientations du cristal de ladite cathode, une orientation specifique du cristal permet un niveau superieur d'emission du faisceau d'electrons hors de l'alignement dans le sens de l'axe optique.