Condensateur a film mince et son procede de fabrication
2003
L'invention porte sur un condensateur a film mince, de haute capacite et de faible encombrement, qui presente d'excellentes caracteristiques dielectriques, et sur un procede de fabrication de ce condensateur. Le condensateur a film mince comprend un substrat dont une surface est orientee dans le sens [001], une couche tampon disposee sur la couche de support et dont une surface est orientee dans le sens [001], un film mince d'electrode inferieure dispose sur la couche tampon et oriente dans le sens [001], un film mince de dielectrique dispose sur le film mince de l'electrode inferieure et contenant un compose lamellaire de bismuth oriente dans le sens [001], a savoir dans le sens de l'axe c, et un film mince d'electrode superieure dispose sur le film mince de dielectrique.
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