Procede et systeme de solidification laterale sequentielle par balayage unique et mouvement continu permettant une croissance bidirectionnelle des grains, et masque permettant cette croissance

2004 
L'invention porte sur un procede et sur un systeme de traitement d'au moins une partie d'un film mince forme sur un substrat et presentant une premiere bordure et une deuxieme bordure. Une ou plusieurs premieres zones de l'echantillon sont successivement irradiees par de premiers minifaisceaux d'une impulsion de faisceau d'irradiation pour faire fondre les premieres zones dans toute leur epaisseur et leur permettre de se resolidifier et de cristalliser pour que les grains puissent y croitre. On irradie une ou plusieurs deuxiemes zones par de deuxiemes minifaisceaux pour les faire fondre dans toute leur epaisseur. L'une au moins des deuxiemes zones chevauche partiellement une surface particuliere des premieres zones resolidifiees et cristallisees, de maniere a ce que les grains de la surface particuliere croissent dans chacune des deuxiemes zones lors de leur resolidification.
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