차등진공을 이용한 하전입자빔 대기인출장치

본 발명에 따른 차등진공을 이용한 하전입자빔 대기인출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하전입자를 방출하는 소스; 상기 소스로부터 방출된 하전입자를 가속하고, 단부면에 형성되어 가속된 하전입자를 대기중으로 방출시키기 위한 인출공을 갖는 가속관; 및 상기 가속관 단부에 형성되고, 상기 가속관의 인출공으로 갈수록 가속관 내부의 진공압력을 감소시키는 복수의 어퍼쳐(aperture)를 포함하는 하전입자인출수단;을 포함하여 이루어진다. 즉 본 발명은 가속관의 종단부에 복수의 어퍼쳐로 구성되는 하전입자인출수단를 도입하여 가속관 내부의 진공압력이 대기중으로 갈수록 낮아지도록 함으로써 하전입자가 대기중으로 나오면서 압력이 높아지더라도 하전입자의 대기중 방출을 원활히 할 수 있는 차등진공을 이용한 하전입자빔 대기인출장치를 제안하고자 한다.