露光装置、露光方法、及び基板製造方法

【課題】プロキシミティＸＹステップ方式の露光において、焼き付け精度を向上する。 【解決手段】レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。露光時の基板１の位置決めを行う際、主制御装置７０のＣＰＵ７１は、チャック１０の位置が目標座標と等しくなるように、ステージ駆動回路８０を制御してチャック１０を移動させる。このとき、ＣＰＵ７１は、マスクホルダ２０の位置に応じて、ステージ駆動回路８０の制御を補正して、チャック１０の移動量を補正する。これにより、基板１のステップ移動による振動や重心の移動でマスクホルダ２０の位置が変化しても、マスク２と基板１との相対位置が一定に保たれる。 【選択図】図１