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極微構造集積デバイス・プロセス技術 デバイス特性によるSiナノ細線の評価と自己抑止酸化による細線幅の改善
極微構造集積デバイス・プロセス技術 デバイス特性によるSiナノ細線の評価と自己抑止酸化による細線幅の改善
2001
tutumi tosiyuki
suzuki eiiti
isii ken'iti
kanemaru seigou
hirosima hirosi
tomizawa kazutaka
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