Caracterisation d'objets au moyen d'ultrasons

Afin de caracteriser un objet de mesure (3), par exemple de mesurer l'epaisseur (d7) d'une couche (7) sur un substrat (4), un appareil de mesure (1) emet une onde ultrasonique (8.1). Les ondes (8.2, 8.5) reflechies par les interfaces (5, 10) de l'objet de mesure (3) sont detectees par l'appareil de mesure (1) et le signal de mesure est numerise et soumis a une analyse par deploiement dans le domaine temporel qui utilise un algorithme necessitant peu de calculs grâce a une orthogonalisation et a la strategie de recherche mise en oeuvre. Les caracteristiques de l'objet de mesure, par exemple ses epaisseurs, sont derivees des differences entre les temps de propagation des ondes reflechies (8.2, 8.5).